每日經(jīng)濟(jì)新聞 2023-09-15 17:20:07
每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：公司生產(chǎn)的光刻膠是否可以用于納米壓印，是否具備相關(guān)技術(shù)儲備？
南大光電（300346.SZ）9月15日在投資者互動平臺表示，公司正在研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的ArF光刻膠，主要用于28nm-90nm技術(shù)工藝的集成電路芯片制造。
(記者 畢陸名)
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