每經(jīng)訊，據(jù)啟信寶，北交所上市公司凱德石英（835179）新增專利信息，專利權(quán)人為凱德石英，發(fā)明人是張忠恕、邊占寧、劉利、陳強(qiáng)、張連興、馮繼瑤、于洋、周潔、王志剛、趙曉亮、李翔星、盧亮。專利授權(quán)日為2024年11月12日，專利名稱為“一種外延工藝用流道蓋板”，專利類型為中國實(shí)用新型專利，專利申請?zhí)枮镃N202420625732.9。

該專利摘要顯示：本申請涉及氣相成膜技術(shù)的領(lǐng)域，提供一種外延工藝用流道蓋板，其包括成膜板和加強(qiáng)板，所述加強(qiáng)板平行于所述成膜板設(shè)置，且所述加強(qiáng)板位于所述成膜板的上方，所述成膜板的左右兩側(cè)均連接有支撐側(cè)板；所述支撐側(cè)板的一側(cè)用于與對象結(jié)構(gòu)抵接，另一側(cè)與所述加強(qiáng)板連接。本申請具有在確保蓋板本身不至于承受過大壓力的同時(shí)，兼顧單晶薄膜的成膜效率的效果。

(記者 曾健輝)

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