每日經(jīng)濟(jì)新聞 2024-10-14 16:25:56
每經(jīng)AI快訊，10月14日，新時(shí)達(dá)在互動(dòng)平臺(tái)表示，目前公司半導(dǎo)體機(jī)器人已批量應(yīng)用于國(guó)內(nèi)多個(gè)晶圓廠產(chǎn)線，公司與國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備公司就機(jī)器人研發(fā)達(dá)成了相關(guān)合作，目前公司半導(dǎo)體機(jī)器人應(yīng)用能夠覆蓋熱處理、清洗、刻蝕、薄膜、黃光、減薄、鍵合等半導(dǎo)體前道和后道工藝制程。
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