每經(jīng)訊，據(jù)啟信寶，新三板創(chuàng)新層公司中科儀（830852）新增專利信息，專利權(quán)人為中科儀，發(fā)明人是張穎志、王啟佳、袁方、趙崇凌。專利授權(quán)日為2023年8月1日，專利名稱為“一種鈦升華泵用的常溫冷阱結(jié)構(gòu)”，專利類型為中國(guó)實(shí)用新型專利，專利申請(qǐng)?zhí)枮镃N202320281647.0。

該專利摘要顯示：本實(shí)用新型屬于鈦升華泵領(lǐng)域，具體地說是一種鈦升華泵用的常溫冷阱結(jié)構(gòu)，包括大法蘭焊件、小法蘭焊件、冷阱筒焊件、擋板焊件及波浪板焊件，冷阱筒焊件的一端與大法蘭焊件的一端相連，大法蘭焊件的另一端連接真空腔室，冷阱筒焊件的另一端與小法蘭焊件的一端相連，小法蘭焊件的另一端連接鈦升華器；大法蘭焊件與冷阱筒焊件的連接處設(shè)有擋板焊件，擋板焊件可拆卸地安裝于冷阱筒焊件內(nèi)部，擋板焊件阻擋鈦升華器升華的鈦溢出到真空腔室內(nèi)；波浪板焊件容置于冷阱筒焊件內(nèi)，波浪板焊件具有增加吸附鈦蒸汽表面積的多個(gè)波浪。本實(shí)用新型的波浪圓板使鈦升華器的吸附表面積增加了4～6倍，提高了鈦升華器的升華速率；擋板焊件避免污染真空腔室，且易于拆卸清洗。

(記者 曾健輝)

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