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南大光電:公司開發(fā)了多款ArF光刻膠在下游客戶處驗證,制程覆蓋90nm~28nm

每日經(jīng)濟新聞 2023-06-02 15:24:49

每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:尊敬的陸總,請問多個品種28nm光刻膠驗證有沒有進入批量驗證階段的?

南大光電(300346.SZ)6月2日在投資者互動平臺表示,公司開發(fā)了多款ArF光刻膠在下游客戶處驗證,制程覆蓋90nm~28nm,各款產(chǎn)品的驗證進度不一。具體進展請關(guān)注相關(guān)信息披露。

(記者 王可然)

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