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英諾激光:公司在半導(dǎo)體領(lǐng)域提供的主要產(chǎn)品為碳化硅退火制程的激光器

每日經(jīng)濟(jì)新聞 2023-06-01 16:44:48

每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問(wèn):貴公司是否,在極紫外線光有前瞻性研究?半導(dǎo)體前序工藝中,是否在激光刻蝕光源方面有技術(shù)儲(chǔ)備呢?

英諾激光(301021.SZ)6月1日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示,公司在半導(dǎo)體領(lǐng)域提供的主要產(chǎn)品為碳化硅退火制程的激光器,亦有少量應(yīng)用在硅基半導(dǎo)體檢測(cè)等關(guān)鍵制程的紫外和深紫外等激光器,客戶以國(guó)外知名半導(dǎo)體裝備公司為主。

(記者 王可然)

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