每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問(wèn)：請(qǐng)問(wèn)老師，現(xiàn)目前貴司光刻膠驗(yàn)證轉(zhuǎn)成客戶自驗(yàn)或者外部機(jī)構(gòu)驗(yàn)證，從理論上講是可以提升一個(gè)檔次，用于14nm驗(yàn)證了。在國(guó)內(nèi)先進(jìn)制程芯片代工企業(yè)，缺陷檢測(cè)分析儀器是不缺的，請(qǐng)問(wèn)貴司現(xiàn)目前有沒(méi)打算在14nm制程去驗(yàn)證呢？

南大光電（300346.SZ）3月21日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，公司ArF光刻膠目前主要集中在90nm-28nm制程工藝的驗(yàn)證，產(chǎn)品質(zhì)檢主要依靠公司購(gòu)置的光刻機(jī)及其他輔助檢測(cè)設(shè)備。

(記者 陳鵬程)

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