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奧普光電:公司子公司禹衡光學光柵尺精度與海德漢對標,理論上可以應用到芯片制造和封裝的測量輔助系統(tǒng)

每日經(jīng)濟新聞 2022-08-30 13:54:06

每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:請問公司的光柵尺精度能達到多少,理論上能應用到芯片制造和封裝的測量輔助系統(tǒng)嗎?

奧普光電(002338.SZ)8月30日在投資者互動平臺表示,公司子公司禹衡光學光柵尺精度與海德漢對標,指標為±3μm/m等級,實際可達到±2μm/m以內(nèi),理論上可以應用到芯片制造和封裝的測量輔助系統(tǒng)。

(記者 曾健輝)

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